壓阻式壓力傳感器特性實驗 |
信息來源: 壓力變送器 | 2019-02-27 點擊量: 5634 |
壓阻式壓力傳感器實驗,西安華恒儀表制造有限公司專業人士介紹講解:
一、實驗目的:了解擴散硅壓阻式壓力傳感器測量壓力的原理和標定方法以及特性。
二、基本原理:擴散硅壓阻式壓力傳感器的工作機理是半導體應變片的壓阻效應,在半導體受力變形時會暫時改變晶體結構的對稱性,因而改變了半導體的導電機理,使得它的電阻率發生變化,這種物理現象稱之為半導體的壓阻效應。一般半導體應變采用N型單晶硅為傳感器的彈性元件,在它上面直接蒸鍍擴散出多個半導體電阻應變薄膜(擴散出P型或N型電阻條)組成電橋。
在壓力(壓強)作用下彈性元件產生應力,半導體電阻應變薄膜的電阻率產生很大變化,引起電阻的變化,經電橋轉換成電壓輸出,則其輸出電壓的變化反映了所受到的壓力變化。圖為壓阻式壓力傳感器壓力測量實驗原理圖。
壓阻式壓力傳感器壓力測量實驗原理
三、需用器件與單元:主機箱中的氣壓表、氣源接口、電壓表、直流穩壓電源±15V、±2V~±10V(步進可調);壓阻式壓力傳感器、壓力傳感器實驗模板、引壓膠管。
四、特性結果:
壓阻式傳感器還有效地應用于爆炸壓力和沖擊波的測量、真空測量、監測和控制汽車發動機的性能以及諸如測量槍炮膛內壓力、發射沖擊波等兵器方面的測量。此外,在油井壓力測量、隨鉆測向和測位地下密封電纜故障點的檢測以及流量和液位測量等方面都廣泛應用壓阻式傳感器。隨著微電子技術和計算機的進一步發展,壓阻式傳感器的應用還將迅速發展。